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美国邦纳BANNER光纤放大器维护手册

2019-1-23 9:03:07      点击:1
美国邦纳BANNER光纤放大器维护手册
邦纳光纤放大器特色产品:
光纤传感器满足小,能够在狭小区域内使用,还能够精确地装置在需求柔性光纤的当地。
DF-G2光纤放大器具有业界领先的快速响应速度,能够实现10微秒的响应时刻以及5微秒的重复精度。
经过将邦纳DF-G2与四套对射式PLIS-1光纤配合使用,
操作员可保证晶圆片位于机械臂的结尾执行器上,以便在将其传递到真空室内时不会出现损坏。
当机械臂将晶圆片移入真空室内时,光纤束会发生中断,
系统将采用必定的算法,根据光纤感应光束的中断时刻来核算确切的晶圆方位。
检测晶圆片方位在半导体行业中至关重要
而相关机器的本钱也高达数百万美元。保证晶圆片放置正确可避免损坏价格昂扬的晶圆和设备。
经过检测晶圆片的中心,操作员能够保证在将晶圆片放入室内时,将晶圆片正确放置在机械臂上。
邦纳DF-G2响应快速,可快速测量和检测晶圆的中心。假如晶圆片偏离中心,

机械臂就能有时刻将晶圆片调整到正确方位,从而避免损坏晶片和设备。


对射式PLIS-1光纤具有90⁰视角,而且其光束小,因而可用于精确测量晶圆片方位。
这些光纤还适用于高温环境,例如半导体制作的真空室区域。
在空间有限的区域内,长途放置的放大器以及光纤可带来*佳的解决方案。
带IO-Link的型号在主站设备和传感器之间采用点到点的通信连接,便于长途监控、示教和配置
响应速度为10μs、15μs、50μs、250μs、500μs和1000μs
双数显,一起显示实时信号值和阈值
简略的用户界面,传感器易于装置,可经过数显和开关/按键或长途输入示教线进行编程 
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