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SMC电磁阀最新推出了一款平行密封型门阀XGTP系列

2018-11-16 8:35:28      点击:

SMC电磁阀最新推出了一款平行密封型门阀XGTP系列

SMC最新推出了一款平行密封型门阀XGTP系列。产品采用平行密封结构,可对应300mm晶圆。适用于半导体装置的真空工艺腔室与传输腔室之间的密封。



产品参数

ŸŸŸ◇ 长寿命:300万次(常温时)

ŸŸŸ◇ 低发尘:发尘量减少到1/5以下(与旧型号相比)

ŸŸŸ◇ 省气:耗气量减少22%

ŸŸŸ◇ 轻量:14kg(盒式)

ŸŸŸ◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm

平行密封构造

门上升、下降的直线动作和门开闭的夹紧采用平行密封(L motion)构造,降低了摩擦系数,可大幅减少发尘量并延长使用寿命

应用场合

半导体加工过程中,针对各工艺腔室之间的隔离。

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